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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功（gōng）率輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和（hé）直流電（diàn）源（yuán）係（xì）統 射頻等離子（zǐ）體發生（shēng）器 遠程等離子體源

可（kě）控矽功率（lǜ）控製係列

靜電電壓表 ESD儀器 氣體傳感器 應變傳感器 熱傳感（gǎn）器

數字（zì）溫度計 本安溫度計 濕度測量儀 射頻和微波 LCR儀（yí）表（biǎo） 歐姆表 接地和粘（zhān）合 信號源和放大器 比率標準