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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹配網絡（luò） 脈衝和直流電（diàn）源係統 射頻等離子體發（fā）生器 遠程等離子體源

可控矽功率控製係列

靜電電（diàn）壓表 ESD儀器 氣體傳感器（qì） 應變傳感器 熱傳感器

數字溫度計 本安溫度計 濕度測量儀 射（shè）頻和微波 LCR儀表（biǎo） 歐姆表 接地和粘合 信號源和放大器 比率標準