Advanced Energy 的等離子電源輸送係(xì)統、交流/直流和直流/直流前端電源以及機架係統產品組合能夠以可控、高效的方式提供(gòng)去除光刻膠所需的精(jīng)確功率。
在等離(lí)子蝕刻過程中,精確控製功率對於確保完美剝離晶圓(yuán)表麵、杜絕任何潛在缺陷至關重要。
在半導體製造中,剝離步驟(zhòu)的作用是去(qù)除殘留的光刻膠。在等離子蝕刻過程中,精確(què)控製功率對(duì)於確保完美剝離(lí)晶圓(yuán)表麵、杜絕任何潛(qián)在缺陷(xiàn)至關重要。
通過精確控製功率實(shí)現完美晶(jīng)圓剝離。
去(qù)除殘留的光刻膠,對於確保高質量產品至關重(chóng)要。Advanced Energy 的等離子電源輸送係統、交流/直流(liú)和直流/直流前端(duān)電源以及機架係統產(chǎn)品組合能夠以(yǐ)可控、高效(xiào)的方式提供去除光刻(kè)膠(jiāo)所需的精確功率。
我們的產品設計始終致力於優化效率和功率密度,在降低總擁有成本的(de)同時(shí)確(què)保可靠性和長時間正常(cháng)運行。
AE 的各(gè)種行業標(biāo)準板載電源模塊得到原始(shǐ)設備製造商和係統(tǒng)集(jí)成商的廣泛應用,可提供半導體製造商所需的(de)靈活性和可擴展性,滿足剝離工藝(yì)的要求。
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