Advanced Energy 的高精(jīng)度等離子體功率傳輸係統可對蝕刻應用(yòng)進行精確控製,從(cóng)而實現(xiàn)高重複性和高產量。
憑借先進的高精度等(děng)離(lí)子(zǐ)動力傳輸係統,Advanced Energy 站在蝕刻應用技術的最前沿。我們的解決方案(àn)利用尖端創(chuàng)新技術,為蝕刻工藝全程提供精確的功率傳輸和控製。
AE 的等離子電源可根據每個蝕刻應用的獨特需求(qiú)進行定製。
我(wǒ)們的產品組合包括射頻(pín)、直流和脈衝直流產品;阻抗匹配(pèi)網絡;遠程(chéng)等離子源以及(jí)先進的數據收集、可視化(huà)和(hé)分析平台。這些(xiē)解決方案采用尖(jiān)端技術,能夠確保精確(què)可重複的(de)功率傳輸,從而實現卓越的製程精度和產量。
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