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遠（yuǎn）程（chéng）等離子體源

遠程等離子體源

Advanced Energy 的遠程等離子（zǐ）體源功能強大、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝。助您定（dìng）製化學特（tè）征（zhēng），擴展（zhǎn）工作範圍（wéi），提高（gāo）工藝處理速度。我們先進（jìn）的方案采用流線型（xíng）設計，讓您能夠實（shí）現更高水平的效（xiào）率和生產率。

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遠程等離子體源

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高質量、腔室清潔、性能無與倫比的遠程等離子（zǐ）體源

Xstream遠程等離子體源

高效的Xstream®RPS可分解大量的NF3並（bìng）快速清潔腔室，提高（gāo）您的整體工具性（xìng）能。它的等離子體腔展示了高純（chún）度鋁合金和專利冷卻能力。Xstream RPS可持續使用數年，無（wú）需維修或昂貴的腔室塗層，是可靠性和高效性能的明智選擇。

特點 規格 技術文檔

特點

高度可靠的RPS最大限度地延長了工具的正常運行時間
有效地將（jiāng）反應物質輸送到處理（lǐ）室（shì）以提高性能（néng）
具有集成有源匹配網絡（AMN）的變壓器耦合等離子體（TCP）源
225 kHz至660 kHz工作頻率
8kW/10kW功率型號
通過定製鋁合金和III型硬陽極氧化消除昂貴的（de）腔室塗層
通過將熱應力降至最（zuì）低的冷卻係統提高（gāo）燃燒室性（xìng）能和（hé）耐用性
使用有源匹配網絡提高效率並改善等離子體的功率傳輸
通過實時等離子體測量（liàng）精確控製功率（lǜ）和工藝
通過（guò）獲得專利（lì）的點火係統實現可靠且（qiě）可重複的等離子體點火

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