Rapid Ox遠程等離子體源_北京菠萝蜜免费视频科技（jì）有限公司

遠程等離子體源

Advanced Energy 的遠程等離（lí）子體源功能強大（dà）、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝（yì）。助您定製化（huà）學特征，擴（kuò）展工作範（fàn）圍（wéi），提高工藝處理速度（dù）。我們先進的方案采用流線型設計，讓您能夠實現更高水平的效（xiào）率和生產率。

遠程等離子體源

氧（yǎng）基工藝的理想遠程等離子（zǐ）體源

Rapid Ox遠程等離子體源

由於Rapid OX的可移除石英襯墊，減少了複合效應並延長了氧（yǎng）自由基的壽（shòu）命。與（yǔ）陽極氧化室相比，所得的反應物種延長（zhǎng）了壽命（mìng），提高了光刻膠（jiāo）剝離率。由於（yú）石英（yīng）襯裏易於操作員安裝或拆卸（xiè），因此減少了停機時間，並顯著（zhe）降低了更換成本。

特點規格技術文檔

特點

石英襯墊使其成為光刻膠灰化或碳室清潔工藝的（de）理想選擇
可變（biàn）頻率匹配提供了一係列等離子體阻抗操作，由變化的（de）氣體化學、壓力和功率設定點控製
改進的熱管理有助於（yú）確保長腔室壽命
Rapid OX由於低動態壓力超調而（ér）快速點火並達到（dào）穩（wěn）態運行
通過可（kě）拆卸和可更換的石（shí）英腔室顯著減少停機時間和擁有成本
由於高離解率（lǜ）和高密度自由基生成，提高了工藝性能
通過變（biàn）頻調諧和精確的功率控製確保可重複（fù）、可控的過程
由於可靠的設計和冷卻係統，提高了燃燒室的使用壽命並降低了服務（wù）成本
提高工（gōng）具利用率，減少預防性維護，降低CoO

規格

技術文檔

Rapid OX RPS Data Sheet