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功率輸出（chū）係統 射頻匹配網絡 脈衝和直流（liú）電源係（xì）統 射頻（pín）等離子體發生器 遠程等離子體源（yuán）

可控矽功率控製（zhì）係列

靜電電壓（yā）表 ESD儀器 氣體傳感器（qì） 應變傳感器 熱傳感器

數字溫度計 本安（ān）溫度計 濕度測量儀 射頻和微（wēi）波 LCR儀表 歐姆表（biǎo） 接地和粘合 信號源和放大器 比率標準