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射頻(pín)等離子體發(fā)生器

射頻等離子(zǐ)體發生器

從各種安裝方式和尺寸到全數字控製和動態等離子響應,我們的射頻發生(shēng)器是工藝創新的源動力。您可以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和(hé)控製功能來滿(mǎn)足特定的應用要求。

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射(shè)頻等離(lí)子體發生器

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用於核心等離(lí)子體應用的行業領先、可重複的功率輸(shū)送(sòng)

Paramount射頻發生器(qì)

以新(xīn)的運營靈活(huó)性為重點,推進流程開發。派拉蒙®高頻(pín)射頻發(fā)生器提供寬功率範圍(wéi),支持多種集成場景,並配(pèi)備標準串行/模擬接口和其他可選通信接口。派拉蒙HF能夠實現高縱橫比(bǐ)器(qì)件(jiàn)所(suǒ)需的高等離子體密度和離子能量,並(bìng)加快半導體加工(gōng)工具下一節點的(de)加工速度。派拉蒙平台的數字架構(gòu)提供(gòng)了精確的電源管理,並簡化了新(xīn)功能集成,無(wú)需交付周期或硬件更改。通過對等離子體變(biàn)化的(de)實時檢測實現了高功率輸出和(hé)可重複的性能。內部保護限值便於可靠操作。

特點(diǎn)

全數字(zì)控製
頻率調諧、脈衝和脈衝同步
實時功率和阻抗測量
電弧管理(lǐ)
相位同步(bù)(CEX)
提高等離子體穩定性和工藝重複性
精(jīng)確控製射頻功率
快(kuài)速(sù)響應等離子體變化
輕鬆適應以滿足特定的應用程序需求

規格

技(jì)術文檔

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地址:北京市海澱區上地信息路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

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