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射頻等離子體發生器(qì)

射頻等離子體發生(shēng)器(qì)

從各種安裝方式和尺寸到全數字控製和動態等離子響(xiǎng)應,我們的射頻發生器是工藝創(chuàng)新的(de)源動力。您可以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和控製功能(néng)來滿足特定的應用要求。

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射頻等離子體(tǐ)發生器

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新興等離子體應用的多級脈衝和(hé)脈衝波形控(kòng)製

Paramount Plus射頻發生器

獲得脈衝(chōng)射頻產品中最廣泛的功能集。派拉蒙Plus提供精(jīng)確的射頻調節、複雜的脈(mò)衝操作和先進的(de)數據采集。Paramount Plus的設(shè)計覆蓋了廣泛的射頻能量範圍——頻率為1至60 MHz,功率水平為1.5至15 kW——提供了您(nín)所需的(de)可重複性和可靠性。

特點

通過嚴(yán)格調節的(de)功率輸出增強射頻穩定(dìng)性
高級多級脈衝
脈衝同步和監測
實時功率和阻抗測量
先進的(de)FastDAQ數據采集係統
精確控製射頻
增強等離子體穩定(dìng)性
加速等離子(zǐ)體轉變(biàn)
減少處理時間
提高工藝重複性和腔室匹配性

規格

技術文(wén)檔

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地址:北京市海澱區上地信息(xī)路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

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