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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的(de)直流和脈衝直流套件推進等離(lí)子工藝創新,在提高沉(chén)積率、改善薄膜平整度和堆(duī)積密度的同時最大限度(dù)減少電弧。

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脈(mò)衝和直(zhí)流(liú)電源係(xì)統

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3至30kW直流和脈衝直流電源

Solvix®脈衝和直流電源係統

用於金屬和反應濺射的Solvix直流和脈衝直流電源提供精確的控製和(hé)經驗證的可靠性,並得到AE全球支持網絡的支(zhī)持。它們提(tí)供廣泛的功(gōng)率和頻率水平、脈衝(chōng)和多種通(tōng)信選項,為您的獨特(tè)工藝提供了堅固且經濟高效的解決方案。

特點

•一流的(de)電弧處理
•直流和(hé)脈衝直流裝置(zhì)
•電流、功率和電壓調節模式
•靈活(huó)的體(tǐ)係結構
•空氣(qì)冷卻
•可配置多個單元以滿足高功率要求
•高峰間電壓(高頻型號(hào))
•專利無抽頭寬輸出負載阻抗範圍(中頻型號)
•經驗證的(de)可靠性、準確性和可重複性
•全球支持網絡
•減(jiǎn)少基板損壞和(hé)工藝汙染
•對各(gè)種工(gōng)藝要(yào)求的(de)適應性
•高吞(tūn)吐量

規格

技術文(wén)檔

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