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利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的(de)直流和脈衝直流套件推進等離(lí)子工藝創新,在提高沉(chén)積率、改善薄膜平整度和堆(duī)積密度的同時最大限度(dù)減少電弧。
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用於金屬和反應濺射的Solvix直流和脈衝直流電源提供精確的控製和(hé)經驗證的可靠性,並得到AE全球支持網絡的支(zhī)持。它們提(tí)供廣泛的功(gōng)率和頻率水平、脈衝(chōng)和多種通(tōng)信選項,為您的獨特(tè)工藝提供了堅固且經濟高效的解決方案。
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