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利用 Advanced Energy 全麵的直(zhí)流和脈衝(chōng)直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度(dù)和堆積(jī)密度的同時最大限度減少電弧。
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PEII電源提供40 kHz脈衝寬度調製(PWM)。它具有(yǒu)先進的電弧控製和(hé)內部負載匹配功能,當單元組合在一(yī)起時,輸出功率高達60千(qiān)瓦(wǎ),不需要(yào)變壓器或調(diào)諧器(qì)等外部硬件(jiàn)。電源還(hái)提供兩個不同的電弧處(chù)理(lǐ)電路,浮動輸出可以在任意一側接地。
PEII Series Data Sheet
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