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脈衝和直流電源(yuán)係統

脈(mò)衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等離子(zǐ)工藝創新,在提高沉積率、改(gǎi)善薄膜平整度和堆積密(mì)度的同時最大(dà)限度減少電(diàn)弧。

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脈衝(chōng)和直(zhí)流電源係統

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最(zuì)受認可的<=20kW工藝直流電源(yuán)

Pinnacle III脈衝直流(liú)電源(yuán)係統

經過現場驗證(zhèng)的Pinnacle®直流發電機提供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了(le)變化並提高(gāo)了(le)產量。這種緊湊、多功能的封裝提供了出色的電弧管理(lǐ),具有低存儲能量、快速電弧響(xiǎng)應和寬(kuān)的全功率工作阻抗範圍。

特點

降低運營和安裝成本
實現快速電弧(hú)響應
配(pèi)置電弧響應
最大限度地提高(gāo)流程效率
精確控製您的流程
低存儲能量——每1千瓦輸出小於1 mJ
無(wú)抽頭更(gèng)改
輸出重複性±0.1%
目標調節周期(TCC)--最(zuì)大限度地減少新目標的調節(jiē)時間
焦(jiāo)耳(ěr)模(mó)式——優化的能量輸送

規(guī)格(gé)

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