利用(yòng) Advanced Energy 全麵的(de)直流和脈衝直流套件推進等離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改(gǎi)善(shàn)薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。
Ascent®AP電源以(yǐ)AE®一流的雙極脈衝直流(liú)技術為基(jī)礎,通過先進的脈衝整形以及包括全電壓反轉和自調整電弧參數(shù)在內的四塊漸進式電弧管理,擴展了您(nín)優化輸出的能力。這種(zhǒng)緊(jǐn)湊型解決(jué)方案的專利脈衝(chōng)技術可主(zhǔ)動抑製電弧,同時其廣泛的操作範圍可解鎖材料選擇,以擴展單磁控管(guǎn)和雙磁控管工(gōng)藝(yì)的靈活性和材料創新。