Trek 646係列_北京菠萝蜜免费视频科技有（yǒu）限公（gōng）司

靜電吸盤

Advanced Energy 的 Trek 電子吸盤電源一直是半導體行業不可或缺的設備。Trek 電源可以幫助（zhù）您提高產量，增加正常運行時間，從根本上消除晶圓粘著和晶（jīng）圓（yuán）爆裂等（děng）問題（tí），並減少背麵氣體錯誤。

靜電吸盤

軟件驅動靜（jìng）電卡盤電源，輸出電壓範圍為（wéi）0至±3 kV

Trek 646係列

Trek®646軟件（jiàn）驅動靜電吸盤電源提供（gòng）了一係列功能，可適應各種苛刻的應（yīng）用。該儀器采（cǎi）用（yòng）了先進的能源技術，其效率和吞吐量提高了，相當（dāng）於其他供應的三倍。Trek 646的多（duō）功能可靠性能允許在多個獨特的工具和工藝中使用，無需為設施中的每個獨特工具或工藝指定（dìng）新的供應。

特點規格技術（shù）文檔

特點

可鎖定的前麵板控製接口

隨每個裝置提供的NIST可追（zhuī）溯校準證書

支（zhī）持（chí）Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技術

將靜電（diàn）吸（xī）盤配置文件上傳並存儲到裝置中，並通過用戶友好的軟件界麵在內部存儲（chǔ）

晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態（tài）

減少背麵氣體錯誤，提高吞（tūn）吐量，並消除晶圓粘性/爆裂問題

控（kòng）製參數（shù），如過電流、晶片存在和晶片箝位（wèi）閾（yù）值、箝位電壓、偏移電壓和內部（bù）或外部振幅/偏移控製

調整過程振幅/偏移和輸出控製的（de）多功能性

使用後麵板I/O、串行計算（suàn）機命令或前麵板控件控製輸出

配置自定義夾緊和拆卸序列以（yǐ）及波形

規格（gé）

技術文檔

Trek 646 Data Sheet