Trek 645係列_北京融（róng）源科技有限公司

靜電吸盤

Advanced Energy 的（de） Trek 電子吸盤（pán）電源一直是半導（dǎo）體行業不可或缺的設備。Trek 電源可（kě）以幫助您提高產量，增加（jiā）正常運行時（shí）間，從根（gēn）本上（shàng）消除晶圓粘著和晶圓爆（bào）裂等問題，並減（jiǎn）少背麵氣體錯誤。

靜電吸盤

返（fǎn）回（huí）

軟件驅動靜電卡盤電源，輸出電壓範圍為0至±2 kV

Trek 645係列

Trek®645軟件驅動靜電吸盤電源具（jù）有（yǒu）記錄（lù）在案的曆史，其效率和吞（tūn）吐量是其他電源的三倍。Trek 645的多功能可靠性能（néng）允許在多個獨特（tè）的（de）工具和工藝中使（shǐ）用，無需為設施中的每個獨特工具（jù）或工藝指定新的供應。

特點規格技術文（wén）檔

特點

可鎖定的前麵（miàn）板控製接（jiē）口

隨每個裝置提供的NIST可追溯校準證書

支持Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技（jì）術

將（jiāng）靜電吸盤配置文件上（shàng）傳並存儲到裝置中，並通過用（yòng）戶友好的軟件界麵在內部存儲

晶圓檢（jiǎn）測包（bāo）括無晶圓、晶圓存（cún）在或晶圓夾緊狀態

減少背麵氣體錯誤，提（tí）高（gāo）吞吐量，並消除晶（jīng）圓（yuán）粘性/爆裂問題

控製參數，如過電流、晶片存在和晶片（piàn）箝位閾（yù）值、箝位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移（yí）控製

調整過程振幅/偏移和輸出控製的多功能性

使用後麵板I/O、串行計算機命令或前麵板控件控製輸出

配置自定義夾緊和拆卸序列（liè）以（yǐ）及波形

規格（gé）

技術文檔

Trek 645 Data Sheet